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高精度ローテーター

スムーズなツール回転で高精度姿勢制御を実現!資料ダウンロード

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FIBで加工した薄片のリフトアウトに、特に便利なツール回転機構です。
マイクロマニピュレーターの3次元動作に、回転操作が加わることにより、メッシュに降ろす際の微妙な位置制御をより簡単に行なうことができます。
アクシスプロFC、アクシスプロSS、クイックプロどちらのマイクロマニピュレーターにも簡単に取付け可能です。また、リフトアウト用のガラスプローブの他に、タングステンプローブやハードメタルツールを装着すれば、異物サンプリング用途にも最適です。

 

アプリケーション例

FIB薄片リフトアウト 姿勢制御と受渡し
採取した粒子の姿勢制御(AFMカンチレバーへ)
異物を分析ディスクへ受け渡す際の向き調整
切削ツールを使う際の角度微調整
ツールの裏に付着した微量対象物の確認

取付可能なツールラインナップ

用途 マイクロツール モデル
FIBリフトアウト サンプリングプローブ MST-002,005,007
異物サンプリング タングステンプローブ TP-0005,001,005,010,030
切削・切開 ハードメタルツール MPE-1,2,4 / CP-005 / KE-1,2

ラインナップ

HPR-2 AxisPro、QuickPro用左右兼用