微小対象物のピックアップ及び受渡しがPCマウス操作で自在に可能な、マイクロスコープ一体型の電動マイクロマニピュレーターシステムです。

顕微FTIRによる微量異物分析や、FIBで加工したTEM用薄片の採取、また微細マーキングなど、様々な用途に使うことができます。

装置全体がカバーに覆われていますので、作業者の安全に配慮した環境を実現しました。

■5µmサイズの対象物も安定してサンプリング
■クリーンルーム内でのパーティクル除去も可能
■フルカバー装備で安全性・作業性・精確性が向上
■試料を設置したら後はPCマウスを動かすだけ
■電動受渡しセカンドステージを標準装備
■採取試料の受渡しがプログラム制御で失敗なし
■収納スペース内蔵でアクセサリーも安全保管
■角度固定アーム採用でセッティングがより簡単に

・アクシスプロFC　本体（仕様により構成は変化します）
・LED（反射・透過）照明装置 ・GigEカメラ
・専用PC（Windows10 IoT Enterprise fot Enbedded 64bit)
・21.5型　LDCディスプレイ（フルHDパネル）
・専用ステージコントローラ MC-104

・電動高精度ローテーター：FIBリフトアウト
・電動マイクロツイーザーズ：30μm程度の把持採取
・回転ステージ（電動）：試料の向きを最適化
・2軸回転ステージ（電動）：試料と受渡し場所での向きを座標管理
・回転ステージ（メカニカル）：切断や切削の際の微調整に最適
・2軸傾斜試料台（メカニカル）：試料の平行度調整に最適
・暗視野照明：微細なキズや異物などの判別に
・斜照明アダプタ：うねりのある試料などのコントラストを向上

フーリエ変換赤外分光光度計（FT-IR)
顕微測定用フーリエ変換赤外分光光度計（μFT-IR)
レーザーラマン分光光度計（μRAMAN)
X線回折装置（XRD)
波長分散方式蛍光X線分析装置（WDXRF)
エネルギー分散型蛍光X線分析装置（EDXRF)
電子線マイクロアナライザ(EPMA)
ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC/MS)
液体クロマトグラフ質量分析装置(LC-MS)
フーリエ変換核磁気共鳴装置（FT-NMR)
透過電子顕微鏡(TEM)
走査型電子顕微鏡(SEM)
収束イオンビーム(FIB)
走査プローブ顕微鏡(SPM)
飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)