大きなガラスや割断前のウエハなどをある程度の大きさにトリミングするのには、肉眼でダイヤモンドスクレーバーなどを用い、定規などをガイドとして手作業で行うのが一般的です。
しかしながら、最終目的である不良場所の割断を行う際には、顕微鏡観察で視認できたとしても、ミクロンレベルの狙った位置で割断することは至難の業です。
マーキング装置D-MARK＋へき開モードによる位置決め
弊社の精密マーキング装置（D-MARK）では、へき開モードも実装しており、例えば10mm角程度のウエハチップなどでも、狙った位置と実現位置を5μm以内の精度でスクライビングラインを入れる事が可能です。
詳細はご相談ください。
