サンプル:電子デバイス ツール:電動高精度ローテーター+アクシスプロ アプリケーション:FIB加工薄片のリフトアウトと受渡し 特徴:ソフトウェアによりXYZθの座標登録が可能 補足情報 Keyword 10~30μm30~100μm100μm以上電子部品シリコンウエハウエハーFIB薄片リフトアウト