サンプル:電子デバイス ツール:マイクロサンプリングツール+高精度ローテーター+アクシスプロ アプリケーション:FIB薄片のリフトアウト 特徴:精確な姿勢制御を実現 補足情報 Keyword フイルム10~30μm大気非曝露条件下クリーンルーム環境電子部品ガラスシリコンウエハウエハーFIB薄片リフトアウト移動・配列