用途:マニュアルプローバー、マイクロマニピュレーターの振動対策に ツール:アクティブ除振台 アプリケーション:振動の影響を受けやすい精密作業にて威力を発揮 特徴:エア源不要。載せる装置の偏荷重、ステージ移動の荷重変化にも自動でレベル調整 Keyword 大気非曝露条件下クリーンルーム環境10μm以下異物ピックアッププロービング振動対策