マニピュレーター環境下で思いのままにミクロ切削！ 資料ダウンロード
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ミリングプロ（MIL-1）およびミリングプロ プラス（MIL-P）は、従来は困難とされていた樹脂などに埋没した異物の切削を、短時間かつどなたでも行えるよう開発された切削アタッチメントです。
弊社製マイクロマニピュレーター（アクシスプロFC / SS / API）と組み合わせることで、2μm～300μm程度の深さに埋没している異物も、モニターで確認しながら切削することができます。
付属の専用切削ツールの選択により、切削範囲や深さも思い通りにコントロールできます。樹脂にとどまらず、ガラス・シリコンウエハ・鉄系金属・非鉄金属・岩石などの切削にも使用できます。
ミリングプロ のアプリケーション例
深さ方向切削 劣化度・面出し
・樹脂材料に埋没した異物の掘り出し（顕微IR)、薄片化
・埋没異物の平面切削（顕微ATR用頭出し）
・樹脂表面の薄膜をミクロンレベルで段階切削
・一定深さでの広範囲の平面切削（50μm□～）
・ガラス、ウェハ、金属試料へのマーキング（FIB加工用）
・ＩＣパッケージ、液晶パネル封止材のピンポイント切削
・内部欠陥へのコンタクト（Ｘ線顕微鏡、ICチップ劈開用罫書き）
ミリングプロ の仕様
樹脂に埋もれた異物の頭出しや、微小領域の切削加工に。
ミリングプロは、横ブレが少なく振幅定量タイプの「MIL-1」と、様々な目的に対応できる振幅調整タイプの「MIL-P」からお選びいただけます。
| 名称 | ミリングプロ | 《NEW》ミリングプロ プラス |
| 型番 | MIL-1 | MIL-P |
| コントローラー部 | 85(W) × 290(D) × 140(H)mm, 3kg | 130(W) × 250(D) × 260(H)mm, 2.6kg |
| ミリングユニット部 | φ28 × 140(L)mm, 0.2kg | φ28 × 128.5(L)mm, 0.15kg |
| 電源 | AC100～230V 50/60Hz | AC100V / 200V（50/60Hz） |
| 定格消費電力 | 25VA | 150VA |
| 発振周波数 | 23～26kHz（自動追尾） | 20～24kHz（自動追尾） |
| 振幅方式 | 固定 | 無段階連続可変（ダイヤル式） |
| 特長 | 横ブレが少なく、顕微鏡下での超精密加工向け | 高出力と振幅調整によって精密加工〜深掘りなど幅広く対応 幅広ツール MPE-4M（先端幅200μm）にも対応 |
| 選定の目安 | ・ツールの横ブレが極めて少ないため、周辺への意図しないダメージを気にせずピンポイントな加工を行いたい用途に最適
・顕微鏡下でのシビアな頭出しやサンプリング作業に集中したい場合に推奨 |
・加工対象や目的に応じて振幅（削り具合）をコントロールしたい用途に最適
・微細加工に加え、切断や深掘りなど、加工スピードやパワーも重視する場合に推奨 |
| 用途 | 【分析・観察の前処理】
□ 埋没異物の頭出し：樹脂やフィルム内部の異物をピンポイントで露出 【微小領域の精密加工・仕上げ】 □ 微細な修正・加工：不良部位の除去、特定箇所の表面平滑化 |
ラインナップ
本体
| ミリングプロ | MIL-1 | 振幅定量タイプ |
| 《NEW》ミリングプロ プラス | MIL-P | 振幅可変タイプ |
専用ツール
| マイクロピーラー | MPE-1M | 平ノミ形状、先端幅約50μm |
| マイクロピーラー | MPE-2M | 平ノミ形状、先端幅約100μm |
| 《NEW》マイクロピーラー | MPE-4M | 平ノミ形状、先端幅約200μm ※MIL-P専用 |
| ハードツールプローブ | CP-M | ニードル形状、先端径約5μm |
| タングステンプローブ | TP-M | ニードル形状、先端径約0.5μm |
| ミリングツールセット | MILT-SET | MPE-1M,MPE-2M,CP-M,TP-M 各1本セット |
| 《NEW》ダイヤモンドナイフ | DK-10SC-M | 平ノミ形状、先端幅約10μm |
