ミリングプロ

マニピュレーター環境下で思いのままにミクロ切削!!


ミリングプロ:マニピュレーター環境下で思いのままにミクロ切削!!


ミリングプロ MIL-1は、いままでは難しくてあきらめていたような、樹脂などに埋没した異物の切削を短時間でどなたにでも行なえるように開発された、切削アタッチメントです。

弊社製マイクロマニピュレーター アクシスプロFCアクシスプロSS、に取付けて使用することにより、2μm~300μm程度の深さに埋没している異物も、モニター上で視認した状態で切削することができます。付属の専用切削ツールを対象物に応じて選択する事により、切削エリア、切削深さのコントロールが自在です。ミリングプロは樹脂ばかりでなく、ガラス・シリコンウエハ・鉄系金属・非鉄金属・岩石などの切削にも使用できます。

なお、ミリングプロは、機械式マイクロマニピュレーターのクイックジョイではご使用できませんのでご注意下さい。


《ミリングプロ のアプリケーション例》

  • 深さ方向切削 劣化度・面出し
  • ・樹脂材料に埋没した異物の掘り出し(顕微IR)、薄片化
  • ・埋没異物の平面切削(顕微ATR用頭出し)
  • ・樹脂表面の薄膜をミクロンレベルで段階切削
  • ・一定深さでの広範囲の平面切削(50μm□~)
  • ・ガラス、ウェハ、金属試料へのマーキング(FIB加工用)
  • ・ICパッケージ、液晶パネル封止材のピンポイント切削
  • ・内部欠陥へのコンタクト(X線顕微鏡、ICチップ劈開用罫書き)

ミリングプロ のアプリケーション例


《ミリングプロ の仕様》

コントローラー部 85(W)×290(D)×140(H)mm, 3kg
ミリングユニット部 φ28×140(L)mm, 0.2kg
電源 AC100~230V 50/60Hz
定格消費電力 25VA


《ラインナップ》

ミリングプロ
ミリングプロ MIL-1 弊社製マニピュレーター専用


専用ツール
マイクロピーラー MPE-1M 平ノミ形状、先端幅約50μm
マイクロピーラー MPE-2M 平ノミ形状、先端幅約100μm
ハードツールプローブ CP-M ニードル形状、先端径約10μm
タングステンプローブ TP-M ニードル形状、先端径約0.5μm
ミリングツールセット MILT-SET 上記4種セット